設備用途：硅片預清洗和單晶制絨
生產節拍：6～10分鐘
裝機容量： 185KW（380V 50HZ）
溫控：采用PID控溫，可精確控制液體溫度0.5℃
排風量:
設備外形尺寸：（L×W×H） 9300×2200×2300（mm）
清洗能力：4000PCS/1h
工藝規程
槽號
工序
方法
工序
說明
處理液
工作
溫度
（℃）
工序
時間
min
循
環
泵
加熱
均熱板
活
動
蓋
板
清洗
溢
流
保
護
溢
流
功率
KW
加熱器
材質
1
清洗
超聲
堿
50～90
6～10
有
24
不銹鋼
有
有
無
有
2
漂洗
超聲
DI水
50～90
6～10
無
24
不銹鋼
有
無
無
有
3
制絨
浸泡
堿
80～90
30～40
有
24
不銹鋼
有
有
無
有
4
制絨
浸泡
堿
80～90
30～40
有
24
不銹鋼
有
有
無
有
5
制絨
浸泡
堿
80～90
30～40
有
24
不銹鋼
有
有
無
有
6
制絨
浸泡
堿
80～90
30～40
有
24
不銹鋼
有
有
無
有
7
清洗
浸泡
堿
40～90
6～10
有
24
不銹鋼
有
有
無
有
8
漂洗
漂洗
DI水
常溫
6～10
無
無
無
無
有
無
9
漂洗
漂洗
DI水
常溫
6～10
無
無
無
無
有
無
